- prof. Giuseppe Gigli
e-mail: giuseppe.gigli@unisalento.it; telefono: +39 0832 319801/802 - prof. Giuseppe Maruccio
e-mail: giuseppe.maruccio@unisalento.it; telefono: +39 0832 297495 - sig.ra Iolena Tarantini
e-mail: iolena.tarantini@unisalento.it; telefono: +39 0832 319710
- FIB (Focused ion beam)
- EBL (electron beam lithograpy)
- SEM Merlin (scanning electron microscopy)
- Thermal evaporator
- Electron Beam evaporator
- Sputtering
- Cappe Litografiche
- Mask Aligner
- Profilometro
- Forni
- Armadi chimici aspirati
- Microscopio
- Crescita ed etching da fascio ionico ed elettronico
- Litografia da fascio elettronico ad alta risoluzione
- Litografiia ottica
- Deposizione termica di metalli quali Oro, Cromo,Argento, Alluminio o Deposizione per sputtering materilali ferromagnetici
- Evaporazione da fascio elettronico di metalli e dielettrici
- Wet and dry etching
- Preparativa campioni
La facility Nanofabrication a CNR NANOTEC@Lecce è costituita da un’ampia camera pulita (classe da 100 a 10000), supportata da personale specializzato e dotata di apparecchiature avanzate per litografia ottica ed elettronica e per processi di micro e nanopatterning. La facility lavora in forte sinergia con quella di Advanced Material e si occupa di applicare vari tipi di approcci di micro e nanofabbricazione alle diverse tipologie di materiali studiati nel centro. Inoltre, questa facility si occupa di fornire training scientifico e tecnico relativamente a tutti gli strumenti di micro e nanofabbricazione disponibili, e di rendere fruibili tecnologie e processi avanzati a gruppi di ricerca accademica e industriale, su base collaborativa o commerciale
Nanotec-CNR, Campus Universitario
S.P. Lecce-Monteroni - 73100 Lecce
