• Evaporatore PVD sotto vuoto VARIAN, dotato sia di sorgente termica che di cannone elettronico, e con assistenza da fascio ionico Commonwealth Sc. e microbilancia per controllo di spessore in situ
• Evaporatore PVD sotto vuoto a sorgente termica a quattro crogioli su base ALCATEL, con microbilancia per controllo di spessore in situ e porta substrati riscaldabile o ribaltabile per deposizioni bifacciali
• Sputtering a Radiofrequenza Materials Research Corp., con tre target e microbilancia per controllo di spessore in situ, con funzionalità etching e bias sputtering
• Evaporatore termico PVD sotto vuoto per deposizioni di routine senza controllo di spessore
• Profilometro a stilo TencorAlphastep200
• Microscopio Ottico GSZ 2

• Deposizione di film sottili mediante evaporazione termica sottovuoto
• Deposizione di film sottili mediante sputtering reattivo a RF
• Misura di spessore di film sottili
• Preparazione e trattamento di substrati e film sottili

Il Laboratorio si caratterizza per la possibilità di depositare – con metodi fisici sottovuoto-film sottili ( da pochi Angstrom fino a qualche micron) dei più diversi materiali inorganici, quali metalli (tra cui Mo, Cu, Al, Nb, Pb, Ag, Cr …), ossidi e nitruri di vari elementi (ad esempio Al, Au, Cr, Cu, Ga2O3, Ge, In, Mo, Nb, Ni, Pd, SbO2, Si, Sn, SnO2, Te, Ti, V2O5, WO3), destinati alla realizzazione di dispositivi quali ad esempio sensori chimici a semiconduttore, strutture ad elevato coefficiente di assorbimento, contatti metallici, ecc.

Collaborazioni con altri gruppi di ricerca operanti nel Dipartimento di Matematica e Fisica, in altri Dipartimenti dell’Università del Salento e in Enti di ricerca presenti sul Territorio (CNR-IMM,ENEA). Alcune attività, in passato, sono state svolte per conto terzi (Costruzioni Solari, CORECOM)

Supporto a laureandi per attività di tesi in vari Corsi di studio magistrali o di Dottorato

Corpo M - Campus Universitario Ecotekne
S.P. Lecce-Monteroni - 73100 Lecce