RECAPITI

Dipartimento di Matematica e Fisica "Ennio De Giorgi"
Centro Ecotekne Pal. M - S.P. 6, Lecce - Monteroni - LECCE (LE)
TEL. 0832 29 7072

ATTREZZATURE

 Sono disponibili:

• un Evaporatore PVD sotto vuoto VARIAN, dotato sia di sorgente termica che di cannone elettronico, e con assistenza da fascio ionico Commonwealth Sc. e microbilancia per controllo di spessore in situ;
• un Evaporatore PVD sotto vuoto a sorgente termica a quattro crogioli su base ALCATEL, con microbilancia per controllo di spessore in situ e portasubstrati riscaldabile o ribaltabile per deposizioni bifacciali;
• uno Sputtering a Radiofrequenza Materials Reserarch Corp., con tre target e microbilancia per controllo di spessore in situ, con funzionalità etching e bias sputering;
• un evaporatore termico PVD sotto vuoto per deposizioni di routine senza controllo di spessore;

La diversificazione di attrezzature, acquistate in un lungo arco temporale e mantenute tutte in perfetta efficienza, permette di operare sia con materiali metallici, per la realizzazione di strati dalle più svariate funzioni (tra i più recentemente depositati Mo, Cu, Al, Nb, Pb, Ag, Al, Cr…), sia ossidi e nitruri di vari elementi. In particolare con lo sputtering sono disponibili target dei seguenti materiali: Al, Au, Cr, Cu, Ga2O3, Ge, In, Mo, Nb, Ni, Pd, SbO2, Si, Sn, SnO2, Te, Ti, V2O5, WO3.

• Nel laboratorio è anche disponibile un Profilometro a stilo Tencor Alphastep 200 per la misura dello spessore di film sottili (da pochi angstrom a circa 300 micron) e di rugosità di superfici.

LINEE DI RICERCA

Il Laboratorio si caratterizza per la possibilità di depositare – con metodi fisici sotto vuoto - film sottili (da pochi Angstrom fino a qualche micron) dei più diversi materiali inorganici, su substrati di varia natura.

ATTIVITÀ / FINALITÀ

Le attività del Laboratorio sono relative sia a linee di ricerca proprie (sensori chimici a semiconduttore, strutture ad elevato coefficiente di assorbimento, …) sia a collaborazioni con altri gruppi di ricerca operanti nel Dipartimento di Matematica e Fisica, in altri Dipartimenti dell’Università del Salento e in Enti di ricerca presenti sul Territorio (CNR-IME, ENEA). Alcune attività, in passato, sono state svolte per conto terzi (Costruzioni Solari, CORECOM).

TERZA MISSIONE

PERSONE

•  Prof. Massimo Di Giulio
• Sig. Luigi Monteduro

COLLABORAZIONI ESTERNE

 Altri Laboratori dell'Università del Salento, IMM-CNR

FORMAZIONE

PROGETTI

PUBBLICAZIONI

BREVETTI

CONSULENZE

DOVE SIAMO